然后分類(lèi)自己的所有硅片,把同一個(gè)厚度的合盒到一起,二級品分類(lèi)放好,這樣在測片的時(shí)候會(huì )減少混片的幾率。(還可以和其它同事調換一下二級品或者厚度不同的硅片,這樣就使得大家的類(lèi)別都少兩樣,測起來(lái)比較方便,也可以預防一些小錯誤的發(fā)生。)
2、 上機操作(包括到崗后的開(kāi)機、維護、測片、抽檢等)
在分好片后,接下來(lái)就是換掉平臺上面的紙、調整好系數、對好樣片、填好校準記錄。這時(shí)候儀器大概也就該預熱夠30分鐘可以開(kāi)始測量了。
測片時(shí)一定要以仔細認真的態(tài)度去對待,不可以有似乎的疏忽大意。這樣才可以保證測量結果的準確性。而且現在的硅片經(jīng)常有電阻率不穩定情況出現,經(jīng)常要重測,甚至反復測量。為了減少測量的次數首先就要保證看準測量數字,以保證不放錯任何一片。因為大家都認識高低點(diǎn)甚至混檔的重要性。
現在分檔一般情況下低檔的比較穩定,但高檔點(diǎn)的像輕磨片40-45的與磁場(chǎng)研磨55-60的就經(jīng)常會(huì )出現高低點(diǎn),免磨的就更加的不穩定。這樣就造成了像混檔一樣的問(wèn)題。所以測這兩個(gè)檔的時(shí)候,經(jīng)常要反復測量,甚至這樣還是不能保證歸檔的準確性。所以測量這兩個(gè)檔的時(shí)候就更加要仔細,經(jīng)常與同事對片,對機子等,以這樣的方式盡量減少誤差的出現。
在把硅片的電阻率與徑向全部過(guò)完并準確的寫(xiě)好小條標識后,就要把所有片的電阻率過(guò)一道,我們統稱(chēng)為“過(guò)二遍”。過(guò)二遍為的是防止混檔或者大批量的高低點(diǎn)的出現,相對來(lái)說(shuō)會(huì )比較快一些。但后面抽出的高檔的高低點(diǎn)就要反復的測量并與同事之間相互對照,這樣才能保證準確歸檔
3、 下機收尾(數片、核對數量、厚度字條標識等)
在測完后,就可以數片、核實(shí)種類(lèi)、厚度、數量然后開(kāi)票了,這幾個(gè)環(huán)節也是一點(diǎn)都馬虎不得,因為任何一個(gè)小小的差錯都可能會(huì )造成后面一連串的錯誤發(fā)生。比如說(shuō)數少了一片,這樣就要重新來(lái)數,運氣不好的話(huà),可能要全部數上一遍;蛘咝l標識上面少填一樣,那么到中轉庫就會(huì )對不上數。所以說(shuō)一定要在確保準確了的時(shí)候才可以合盒交片。
在上面這整個(gè)操作流程中,都始終要嚴格要求自己,有條不紊的完成好各項工作,以保證不只自己還要有其它各道工序的順利運行。當然,在這整個(gè)流程中,我還存在著(zhù)很多不足,有待進(jìn)一步提高,在工作過(guò)程中,缺乏大膽提出可行性建議,缺乏創(chuàng )新意識。今后應加強學(xué)習不斷總結經(jīng)驗以提高自己的專(zhuān)業(yè)知識。